電容式振動(dòng)傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器，其中一個(gè)電極是固定的，另一變化電極是彈性膜片。彈性膜片在外力(氣壓、液壓等)作用下發(fā)生位移，使電容量發(fā)生變化。這種傳感器可以測(cè)量氣流(或液流)的振動(dòng)速度(或加速度)，還可以進(jìn)一步測(cè)出壓力。
 
電容式振動(dòng)傳感器是通過(guò)間隙或公共面積的改變來(lái)獲得可變電容，再對(duì)電容量進(jìn)行測(cè)定而后得到機(jī)械振動(dòng)參數(shù)的。電容式振動(dòng)傳感器可以分為可變間隙式和可變公共面積式兩種，前者可以用來(lái)測(cè)量直線振動(dòng)位移，后者可用于扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的角位移測(cè)定。
電容式振動(dòng)傳感器在操作上與壓阻式加速度振動(dòng)傳感器類似，因?yàn)樗鼈儨y(cè)量橋接電路的變化。然而，它們不是電阻，而是測(cè)量電容的變化。傳感元件由兩個(gè)平行板電容器組成，以差分模式工作。它們依靠載波解調(diào)器電路或其等效電路產(chǎn)生與加速度成比例的電輸出。有幾種類型的電容元件。一種類型包含金屬傳感膜片和氧化鋁電容器板。兩個(gè)固定板將隔膜夾在中間，形成兩個(gè)電容器。每個(gè)都有一個(gè)固定板，兩個(gè)共用隔膜作為可移動(dòng)板。
 
隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，如今的電容式振動(dòng)傳感器都普遍采用的MEMS技術(shù)制造。顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，它的整個(gè)敏感元件由粘在一起的三個(gè)單晶硅片構(gòu)成。其中上、下硅片構(gòu)成兩個(gè)固定電極，中間的硅片通過(guò)化學(xué)刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質(zhì)量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當(dāng)薄膜隨質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)時(shí)，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。由于采用MEMS技術(shù)得到了這種一體化的結(jié)構(gòu)，它的可靠性是相當(dāng)高的。